仪器品牌:中科汇束TM Beam ConvergenceTM 
在低真空状态下(通常10~100Pa),当给气体施加特定电场时,气体分子在电场提供的能量作用下会发生电离,从气态转变为等离子体状态。等离子体,被誉为物质的“第四态”,是一种高度电离的气体,其中包含了大量的电子、离子、光子以及各类自由基等活性粒子。这些活性粒子与通常化学反应所产生的粒子相比,种类更为丰富,活性也更强,通过它们与样品表面发生的物理或化学反应,来改变样品表面的性质,或对样品表现进行清洁和刻蚀作用。 等离子亲水化清洗仪Plasma-TS5是为实验室设计的样品表面亲水化处理和去除表面有机污染物的仪器,可以为超薄切片实验、常温和冷冻透射电镜实验、扫描电镜实验的样品前处理发挥重要作用。- 常规载网亲水化处理,用于提高常温超薄切片的捞片效率,提高冷冻超薄切片干 切薄片的收集效率。
- 冷冻电镜载网亲水化处理,用于提高玻璃化冷冻投入仪的液滴样品加载后的吸附效果。
- 硅片和导电玻璃亲水化处理,是连续超薄切片样品收集的必要步骤
- 扫描电镜样品的表面等离子清洁,去除表面吸附的有机污染物,显著降低或完全消除扫描区“黑框”的碳沉积现象。
- 承载纳米材料的TEM载网在等离子表面清洁处理后利于拍摄高分辨图像
- 样品在镀膜前进行表面等离子清洁,显著提高膜层致密度和膜层牢固度
1、集成双路进气和流量控制,可通入氩气、氢气、氧气、氮气和空气等单路气体或其 中的混合气体。
2、石英玻璃材质的大样品真空舱室,一次可以处理更大尺寸样品和更多数量样品, 160mm(直径) × 210mm(深度)。
3、触摸屏程序控制,操作简便,具备智能定时、定量、低压保护等功能。
主要技术参数:
1. 离子源射频功率调节范围:0-300 W功率可调。
2. 离子源频率 13.56 MHz 固态射频电源。
3. 采用2路精密针阀式浮子流量计,气体流量计的调整范围:0-500 ml/min(2路气体可调)。
4. 触摸屏程序控制,等离子体亲水化和清洗时间设定范围:1-9999 s 可调。
5. 石英玻璃材质的大样品真空舱室,真空内腔尺寸:160mm(直径) × 210 mm(深度)。
7. 真空泵包含油雾过滤,抽气速率:≥ 4.4 L/s。8. 仪器外形尺寸:600mm ×400mm ×310mm(长×宽×高)。1. 真空泵油,单次更换容量1L,根据实际使用情况更换周期约6个月。2. 油雾过滤器,单次更换1件,根据实际使用情况更换周期约1年。3. 密封条,单次更换1件,根据实际使用情况更换周期约3年。 1. 供电电源:220V(单相稳压),50Hz / 60Hz。4. 气源按需准备:氧、氩、氮、氢等非腐蚀性气体,进气压力≥0.3 mPa。 氧气(O2)、氮气(N2)、氢气(H2)和空气(Air)产生的等离子体对样品表面产生化学反应和离子物理撞击作用;氩气(Ar)产生的等离子体对样品表面只有物理撞击作用。
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