带英国国家物理实验室（NIST的分部）的计量证书，通过激光束干涉法进行校准，保证精度为1%。用于SEM和光学显微镜中的放大率校准或图像扭曲失真检查。标样材质为单晶硅，厚度675µm，硅晶体取向为<100>，5mmx 5mm，正方形每10µm重复一次，分界线宽约1.9µm，由电子束光刻形成。每500µm（0.5mm）有一条更宽的标记线，可用于光学显微镜的图像检测。刻蚀线条深度约为300nm。