3英寸，直径75mm，单面抛光，整合真空包装单晶硅片在千级洁净室生产包装，达到芯片级表面洁净程度，尺以整盒购买25片/盒为宜，最小订购量5片。单面抛光的单晶硅片广泛用于SEM/AFM/XRD等分析测试实验样品制备，也可用于PVD、CVD镀膜做衬底和分子束外延生长的基底等。单晶硅片纯度高（氧含量≤15ppm），导电率好，易于切割。