简介

HSC120 离子束刻蚀镀膜仪 >>> 高质量离子束刻蚀镀膜，膜颗粒小，膜层薄，不改变样品表面形貌 >>> 独家专利保护多靶材头，可以同时放入多种不同材质的靶材，且方便切换 >>> 无需更换镀膜头，同时兼容金属靶材和碳靶材 >>> 样品台可倾转、可连续旋转、进一步提高了镀膜的均一性

其它参数

镀膜方式：离子溅射镀膜

靶材数量：4

离子枪类型：靶型场枪，非聚焦

靶材尺寸：28mm

靶材种类：金属靶材、碳靶材

样品台：φ25mmSEM标准样品台

显示屏：10寸显示屏

工作电压：AC220V，50/60Hz