MAG*I*CAL®透射电镜标样,是将分子束外延(MBE)生产的硅单晶用离子减薄方式制备成截面样品,单晶中是一系列原子平坦的Si和SiGe层,这些层的厚度和间距是已知的非常精确地数值,因为直接参考了硅的(111)晶格间距,这些晶格间距在样品上很容易看到。层间距设计使得该标样可以用于校准TEM的放大范围从大约1000X到1000000X,也可以用于执行相机常数校准和图像衍射图案旋转校准。